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輻射圧雑音の計測などに用いられるナノサイズの片持ち梁構造には，より軽量な構造が求められている．そこで，その素材として炭素原子1層の平面シート構造であるグラフェンが候補に挙げられている．グラフェンはヤング率1 TPaの弾性率を持ち，浮き構造を維持できることから，1-3層の薄層グラフェン(Few-layer Graphene, FLG)で梁構造を作ることができる．従来，FLG両持ち梁，4層以上の多層グラフェン(Multilayer Graphene, MLG)片持ち梁などの構造が作られ，共振周波数などの機械的特性が計測されてきた．しかし，FLG片持ち梁を実現した例はなく，その共振周波数は知られていない．そこで本研究では，集束イオンビーム(Focused Ion Beam, FIB)で1-3層のFLG片持ち梁を製作し，光ヘテロダイン干渉法でその共振周波数を計測した．
References :
1.Kazuma Matsui, Akira Inaba, Yuta Oshidari, Yusuke Takei, Hidetoshi Takahashi, Tomoyuki Takahata, Reo Kometani, Kiyoshi Matsumoto and Isao Shimoyama, “Mechanical properties of few layer graphene cantilever,”; The 27th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2014), pp. 1087-1090, San Francisco, USA, Jan. 26-30, 2014. [Proceeding]
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