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飛行機や昆虫等の飛行中の翼面に働く力として、翼に対して垂直な方向に働く圧力と、翼に対して水平に働くせん断力がある。レイノルズ数が大きい時は圧力が支配的となるが、レイノルズ数が小さくなってくるとせん断力が無視できなくなってくる。本研究では、この空気中のせん断力を計測可能なMEMSセンサを試作した。センサはせん断力が働くプレートと、プレートを支える梁の構造となっている。梁の側面にピエゾ抵抗層を形成することで、プレートにせん断力が加わった際の梁のひずみを抵抗変化から算出する。試作したセンサを小型風洞内でキャリブレーションし、 1 Pa以下の分解能で空気のせん断力を計測できることを示した。
References :
1.Ryohei Kazama, Hidetoshi Takahashi, Tomoyuki Takahata, Kiyoshi Matsumoto and Isao Shimoyama, “Airflow shear stress sensor using side-wall doped piezoresistive plate,” ; The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), Estoril, Portugal, pp. 710-713, January 18-22, 2015.[Proceedings]
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